日本三丰光栅式位移传感器又称光栅式测微仪

测量原理采用光电式透射型线性编码器光栅式测微仪的检测器在20μm间距刻度的主尺和指示尺之间，光

源(LED)和受光元件(光电二极管)彼此相对。光栅式测微仪的主尺和指示光栅(20μm间距)位于彼此相对的光源(LED)和检测器(光电二极管)之间。

当光栅尺相对检测器移动时，透过指示光栅窗口的光线强度连续变化。同时，输出两个同步的正弦波信号形成90º相位差。这些信号被放大和分离(使用插入的附加波形)，并以0.1μm、0.5μm、1μm和5μm波长的方波信号输出。

三丰线性位移传感可以同数据采集软件连接电脑

■SENSORPAK

(用于读取EH、EV、VL测量数据的软件)

可以从带有RS-232C接口的光栅式测微仪计数器(EH·EV)，以及用于台

式低测力测高仪的显示装置(VL)向PC存取测量数据。

●可以处理最多60通道的测量点。

●测量数据可以进行四则运算和最大差值运算。

●可以向微软公司的Excel文件传输测量数据。